kSA BandiT實(shí)時(shí)襯底溫度測試儀是一種非接觸、實(shí)時(shí)測量半導(dǎo)體襯底表面溫度的測試系統(tǒng),采用半導(dǎo)體材料吸收邊隨溫度的變化的原理,實(shí)時(shí)測量晶片/襯底的溫度。